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分辨率測(cè)試卡

  • 產(chǎn)品型號(hào):RT RC-05B
  • 更新時(shí)間:2025-06-30

簡(jiǎn)要描述:分辨率測(cè)試卡是一款采用半導(dǎo)體光刻技術(shù)制作的微型測(cè)試卡。它用于校準(zhǔn)和監(jiān)控系統(tǒng)分辨率,確保微焦點(diǎn)或納米焦點(diǎn)X射線檢測(cè)系統(tǒng)獲得高質(zhì)量的結(jié)果。

產(chǎn)品詳情
品牌日本JIMA

日本JIMA RT RC-05B分辨率測(cè)試卡,JIMA分辨率測(cè)試卡詳細(xì)介紹:

JIMA RT RC-05B分辨率測(cè)試卡是一款采用半導(dǎo)體光刻技術(shù)制作的微型分辨率測(cè)試卡


RC-05B 分辨率測(cè)試卡用于校準(zhǔn)和監(jiān)控系統(tǒng)分辨率,確保微焦點(diǎn)或納米焦點(diǎn)X射線檢測(cè)系統(tǒng)獲得高質(zhì)量的結(jié)果。JIMA RT RC-05B支持3微米至50微米(3 µ m50 µ m)的分辨率。這對(duì)應(yīng)于6微米和100微米(6 µ m100 µ m)之間的焦斑尺寸。

分辨率測(cè)試卡

16I&T布局,2x2 mm8x8 mm硅基,如上圖

下圖為尺寸為5 μm I&T的圖像

分辨率測(cè)試卡

Au Slit的數(shù)量為3行和2個(gè)空格

寬度310 μmT形布局

寬度1550 μmI形布局L/S寬度

L/S寬度:3456789101520253035404550 μm


 
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